就
是
對(duì)
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個(gè)產(chǎn)品，
對(duì)待每一
做到極致認(rèn)真
每一個(gè)零件
細(xì)
致
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級(jí)無(wú)塵烘箱
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氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無(wú)塵無(wú)氧烘箱（PI烤箱）真空無(wú)氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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恭喜！國(guó)內(nèi)2大半導(dǎo)體廠導(dǎo)入光刻機(jī)
來(lái)源:網(wǎng)絡(luò)
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作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部
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發(fā)布時(shí)間: 2021-12-10
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英諾賽科成功導(dǎo)入ASML光刻機(jī)
2021年12月8日，英諾賽科（珠海）科技有限公司為ASML光刻機(jī)成功導(dǎo)入8英寸硅基氮化鎵量產(chǎn)線舉辦了慶典。英諾賽科于2021年引入ASML光刻機(jī)，憑借著其卓越的成像性能和獨(dú)特的TWINSCAN架構(gòu)（雙晶圓工件平臺(tái)），英諾賽科進(jìn)一步提升了硅基氮化鎵功率器件制造的產(chǎn)能及產(chǎn)線良率。此次慶典上，ASML副總裁兼中國(guó)區(qū)總經(jīng)理沈波代表ASML被英諾賽科授予“最佳戰(zhàn)略合作伙伴”稱號(hào)。
晶瑞電材：公司已購(gòu)得KrF光刻機(jī)
晶瑞電材表示，公司近期已購(gòu)得KrF光刻機(jī)一臺(tái)，可用于KrF光刻膠的曝光測(cè)試，同時(shí)公司KrF光刻膠（光刻膠厭氧烘箱）量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。
此前，晶瑞電材已經(jīng)購(gòu)得用于負(fù)膠、g線、i線、ArF等4臺(tái)光刻機(jī)，再加之此次購(gòu)得的KrF光刻機(jī)，晶瑞電材已經(jīng)到位5臺(tái)光刻機(jī)。
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