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致
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮?dú)夂嫦洌艹涞嫦?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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SECS / GEM通訊HMDS鍍膜機(jī)
發(fā)布時(shí)間: 2022-04-09 15:00
一．SECS/GEM通訊HMDS鍍膜機(jī)概述
SECS / GEM通訊HMDS鍍膜機(jī)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，改變了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。
SECS / GEM是用于設(shè)備到主機(jī)數(shù)據(jù)通信的半導(dǎo)體設(shè)備接口協(xié)議。SECS / GEM通訊HMDS鍍膜機(jī)在自動化工廠中，接口可以啟動和停止設(shè)備處理，收集測量數(shù)據(jù)，更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。
二．SECS/GEM通訊HMDS鍍膜機(jī)特點(diǎn)
? 智能化： GEM設(shè)備可以使用TCP / IP（使用HSMS標(biāo)準(zhǔn)，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議（使用SECS-I標(biāo)準(zhǔn)，SEMI E4）與支持GEM的主機(jī)進(jìn)行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息進(jìn)行監(jiān)控和控制。 還有許多額外的SEMI標(biāo)準(zhǔn)和工廠規(guī)范參考了GEM標(biāo)準(zhǔn)的特點(diǎn)。
? 預(yù)處理性能更好：由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮?dú)庵脫Q后進(jìn)行的HMDS處理，所以不會在有塵埃的干擾，再者，由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝，同一個(gè)容器中進(jìn)行，晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤，再接著進(jìn)行HMDS處理，不需要從容器里傳出，而接觸到大氣，晶片吸收水分子的機(jī)會大大降低，所以有著更好的處理效果。
? 處理更加均勻：由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。
? 效率高：液態(tài)涂布是單片操作，而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)8盒（4寸）的晶片。
? 更加節(jié)省藥液：實(shí)踐證明，用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理4盒晶片所用藥液還多。
? 更加環(huán)保和安全：HMDS是有毒化學(xué)藥品，人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整個(gè)過程在密閉的環(huán)境下完成的，所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī)，所以也不會對環(huán)境造成污染。
? 低液位報(bào)警裝置：當(dāng)HMDS液位過低時(shí)自動發(fā)出報(bào)警；HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。
? 自動吸取HMDS：智能型的程式設(shè)定，一鍵完成作業(yè)。HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。
? 可自動添加HMDS：將HMDS藥液添加至設(shè)備自帶儲液瓶中，無需人工添加，提高生產(chǎn)效率，并有效地避免了人員與藥液的接觸。
? HMDS藥液泄漏報(bào)警：烤箱安裝有HMDS藥液泄漏檢測系統(tǒng)，檢測到HMDS有害氣體時(shí)設(shè)備自動報(bào)警。
? HMDS氣體管路加熱系統(tǒng)：HMDS氣體管路采用316醫(yī)用專用不銹鋼制作，加熱其氣體管路系統(tǒng)使HMDS液體更有效轉(zhuǎn)化為氣體，從而得到更加均勻的涂布效果。
? 參數(shù)記錄功能：可安裝數(shù)字式溫度、壓力記錄儀，實(shí)時(shí)監(jiān)控并記錄烤箱內(nèi)溫度及真空度的變化情況。以便于后期參考，選擇最佳制造工藝。
? 溫度與程序互鎖功能：當(dāng)箱體內(nèi)部溫度未達(dá)到設(shè)定值時(shí)，涂布程序無法運(yùn)行。防止誤操作損壞產(chǎn)品。
三、SECS/GEM通訊HMDS鍍膜機(jī)預(yù)處理的必要性
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。
四、SECS/GEM通訊HMDS鍍膜機(jī)常用規(guī)格
容積 | 型號 | 控溫范圍 | 電源電壓 | 內(nèi)膽尺寸（mm） |
40L | JS-HMDS40-AI | RT-250℃ | 220V/50Hz | W350*D350*H350 |
90L | JS-HMDS90-AI | RT-250℃ | 220V/50Hz | W450*D450*H450 |
200L | JS-HMDS210-AI | RT-250℃ | 380V/50Hz | W600*D600*H600 |
500L | JS-HMDS500-AI | RT-250℃ | 380V/50Hz | W800*D800*H800 |
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