就
是
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工
作
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態(tài)
度
，
個產品，
做到極致認真
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環(huán)真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
產 品 中 心
products
智能型HMDS真空系統(tǒng) HMDS預處理系統(tǒng) 圖像反轉烘箱用途
二合一真空腔體帶來更低的成本、更高的效率和更可靠的工藝。先進的溫控、工藝時間和腔體尺寸控制系統(tǒng)讓您用更少的化學品，實現對沉積過程環(huán)境的完全掌控。
智能型HMDS真空系統(tǒng)可快速、均勻、經濟高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對晶圓表面進行底漆處理，從而改善光刻膠的附著力。
有效的光刻膠處理是后續(xù)所有工藝步驟的基礎，只有完全被處理的表面才能準確復制，避免蝕刻不足或邊緣粗糙。JS-HMDS系列真空系統(tǒng)可徹底脫水晶圓，使HMDS 層附著力更強，即使暴露于大氣濕氣數周也能保持穩(wěn)定。
智能型HMDS真空系統(tǒng) HMDS預處理系統(tǒng) 圖像反轉烘箱特點
通過使用六甲基二硅氮烷（HMDS）對晶圓表面進行快速、均勻、且成本效益高的硅烷化處理，有效增強了與光刻膠的粘合性。
真空鍍膜技術能徹底脫水晶圓，確保了更強的粘接強度。
即便長時間暴露于潮濕的空氣中，HMDS層也能維持其穩(wěn)定性。
我們的先進控制系統(tǒng)支持用戶根據需要選擇溫度、處理時長及腔室尺寸。
此外，我們的技術還能降低化學物品的使用量和成本，實現經濟效益。
通過工藝處理，達到圖像反轉效果，解決了圖像反轉光刻膠的復雜性。
智能型HMDS真空系統(tǒng) HMDS預處理系統(tǒng) 圖像反轉烘箱參數
設備型號：JS-HMDS90AI
工作室尺寸（mm）： 450×450×450，650*650*650,可自定
材質：外箱采用優(yōu)質冷軋板噴塑或不銹鋼，內箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼
溫度范圍：RT+10-200℃
溫度分辨率：0.1℃
溫度波動度：≤±0.5
真空度：1torr
潔凈度：設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境
控制儀表：人機界面
擱板層數：2層
HMDS控制:可控制HMDS藥夜添加量
真空泵：旋片式油泵或干泵
保護裝置:HMDS藥液泄漏報警裝置，HMDS自動添加，超溫保護，漏電保護，過熱保護
