就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產(chǎn)品，
做到極致認(rèn)真
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機(jī)
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
產(chǎn) 品 中 心
products
PI亞胺化厭氧爐，PI真空厭氧烤箱
PI固化爐用于光刻膠BCB，聚酰亞胺PI/CPI固化，LCP纖維熱處理，晶圓干燥烘烤等工藝，主要用于集成電路、化合物半導(dǎo)體、MEMS微機(jī)電、TFT/LCD等半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)。
通用性，全自動運(yùn)行真空固化，2寸-12寸/碎片兼容。
保證性強(qiáng)，可達(dá)5PPM氧氣下實現(xiàn)真空固化。
時效性，多功能冷卻方式，縮短了工藝時間，降低成本，提高生產(chǎn)能力。
能耗低，真空狀態(tài)固化，節(jié)約了80%N?量。
無污染，腔體內(nèi)部所有材料均為316L醫(yī)用級不銹鋼，無任何顆粒產(chǎn)生。
PI亞胺化厭氧爐，PI真空厭氧烤箱
溫度：RT-350/450度
真空度：低于100Pa
操作：彩色人機(jī)界面，一鍵運(yùn)行
冷卻方式：水冷卻+風(fēng)冷
氣路：2路N2
程序模式：程序運(yùn)行10個，每個程序可設(shè)置25步
隔熱材料：陶瓷纖維
工作腔：1/2/4/8可選
PI亞胺化厭氧爐工藝要求（參考）：
在低氧狀態(tài)下使用
真空加熱，升溫至1xx℃
再溫至1xx℃(約xh),保溫約 30min;
繼續(xù)升溫至x00℃，視涂層厚度不同加熱10-x0min
保溫 約60min；
降溫至100℃以下
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