就
是
對(duì)
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個(gè)產(chǎn)品，
對(duì)待每一
做到極致認(rèn)真
每一個(gè)零件
細(xì)
致
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級(jí)無(wú)塵烘箱
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氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無(wú)塵無(wú)氧烘箱（PI烤箱）真空無(wú)氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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無(wú)塵烘箱，MES無(wú)塵烘箱
發(fā)布時(shí)間: 2021-09-26 13:42
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用途 |
用于IC,晶圓等電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝 |
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溫度范圍 |
室溫＋10℃～250℃ |
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溫度波動(dòng)度 |
恒溫溫度波動(dòng)±0.5℃ |
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溫度均勻度 |
計(jì)算方法:設(shè)定150℃,6點(diǎn)測(cè)溫,(max-min)/min≤3.5% |
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工作室尺寸（mm） |
450（深）*450（寬）*600（高）（可自定） |
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潔凈度（class） |
Class100 |
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氣體過(guò)濾 |
配有氣體過(guò)濾裝置，保證腔體內(nèi)潔凈度為100級(jí) |
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隔板要求 |
每個(gè)腔體配二個(gè)隔板，用不銹鋼板沖孔制成 |
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箱體外壁材料 |
冷軋鋼板靜電噴塑（或SUS304） |
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箱體內(nèi)壁材料 |
為不銹鋼板內(nèi)壁氬弧焊（SUS316或SUS304） |
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保溫材料 |
優(yōu)質(zhì)超細(xì)納米玻璃棉 |
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氮?dú)饨涌?/span> |
能將箱內(nèi)空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮?dú)庵羞M(jìn)行 |
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控制方式 |
人機(jī)界面+PLC控制 |
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氮?dú)饬髁?/span> |
0.3~0.5M3/H(可調(diào)，可選擇具有流量偏低/偏高報(bào)警功能,并實(shí)時(shí)監(jiān)控記錄曲線） |
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超溫保護(hù) |
采用獨(dú)立的超溫保護(hù)裝置，確保溫度不超限；當(dāng)保護(hù)裝置動(dòng)作時(shí)，超溫保護(hù)裝置自動(dòng)切斷加熱電源并進(jìn)行聲光報(bào)警、控制儀采用LED顯示且可調(diào) |
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計(jì)時(shí)方式 |
溫度達(dá)到制程設(shè)定值后開(kāi)始計(jì)時(shí). |
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排風(fēng)口 |
直徑50mm的排風(fēng)口,且安裝有調(diào)節(jié)風(fēng)閥 |
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電氣安全保護(hù) |
風(fēng)機(jī)過(guò)載保護(hù)、加熱系統(tǒng)超溫保護(hù)、電磁門鎖保護(hù)、安全接地保護(hù). |
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MES軟件 |
可連接MES系統(tǒng) |
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作業(yè)時(shí)掃碼可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)取所需作業(yè)程序,作業(yè)員只需確認(rèn)是否正確 |
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自動(dòng)記錄作業(yè)累計(jì)次數(shù)，作業(yè)批號(hào),作業(yè)人員,作業(yè)起止日期及時(shí)間,作業(yè)溫度曲線,作業(yè)條件,可自動(dòng)生成Excel報(bào)表 |
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有權(quán)限操作員需掃碼后才可操作此設(shè)備,且自動(dòng)記錄作業(yè)人員 |
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