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一．無塵無氧烤箱，智能無塵無氧烤箱概述
      無塵無氧烤箱，智能無塵無氧烤箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).智能無氧烤箱可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息進行監(jiān)控和控制。
     智能制造主要指生產(chǎn)線現(xiàn)場的生產(chǎn)過程管理、現(xiàn)場監(jiān)控和控制等，包括智能工廠生產(chǎn)過程的數(shù)據(jù)采集及分析，實現(xiàn)生產(chǎn)過程、設(shè)備、資源監(jiān)控的可操作和可視化；要能支持采集不同現(xiàn)場設(shè)備數(shù)據(jù)的要求，支持將生產(chǎn)數(shù)據(jù)及設(shè)備故障信息顯示在監(jiān)控站的屏幕上，實現(xiàn)生產(chǎn)過程的動態(tài)監(jiān)控與管理；實現(xiàn)智能設(shè)備、機器人和生產(chǎn)線、用戶全流程互聯(lián)對話，實現(xiàn)人機、機機互聯(lián)下的高品質(zhì)、高效、柔性自動化生產(chǎn)等。
二．無塵無氧烤箱，智能無塵無氧烤箱技術(shù)參數(shù)
1.主要技術(shù)指標

? 材質(zhì)：外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼，內(nèi)箱采用SUS304不銹鋼
? 溫度范圍：RT+10-200/450℃
? 溫度分辨率：0.1℃
? 溫度波動度：＜±1℃
? 溫度均勻度：≤±2%
? 潔凈度：class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境
? 升溫時間：5-8℃/min，（空箱測試）
? 降溫時間：可滿足130℃-50℃，降溫5℃/min（空箱測試）
? 氧含量
高溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量
? 數(shù)據(jù)輸出：溫度和氧含量無紙記錄儀
2.系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

? 熱風循環(huán)系統(tǒng)：采用進口覆套式電熱器（SHEATHED HEATER）無塵無氧化電熱發(fā)生器
箱體后部裝有離心循環(huán)風機、氮氣進氣口和排氣口，離心風機將箱內(nèi)加熱的熱風與進氣口的新鮮氮氣混合，一部分氣體混合烘干處理產(chǎn)生的廢氣物從排氣口排出，大部分氣體進入箱體兩側(cè)的循環(huán)風道，攜帶加熱器產(chǎn)生的熱量，進入箱體內(nèi)對產(chǎn)品進行加熱烘烤，然后由離心風機重新吸回，從而往返循環(huán)
? 氣體系統(tǒng)：愛美克H.E.P.A，(特殊風道設(shè)計)過濾效果可達99.99%,Class100
箱體內(nèi)裝有氧含量分析儀，全稱檢測氧含量，并記錄數(shù)據(jù)排氣口采用自動風門設(shè)計以達到強烈的循環(huán)效果及快速降溫，進氣口加附N2流量計控制進氣量，入氣口10mm氧含量可達到40PPM以下
? 水冷系統(tǒng)：翅片式水冷散熱器，當箱體內(nèi)部溫度低于200℃時，冷卻水通過散熱器快速帶走更多的熱量，使得箱內(nèi)溫度快速下降，縮短降溫時間，提高生產(chǎn)效率水冷電機，設(shè)有低水壓報警，防止電機過熱損壞水套水冷，設(shè)有低水壓報警，防止密封圈過熱損壞及老化
? 溫控系統(tǒng)：采用日本RKC-PF900溫度控制器，內(nèi)置斜率設(shè)定、PID自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多種功能采用日本橫河六通道巡回檢測，有紙記錄儀，可將烤箱內(nèi)實時環(huán)境溫度進行檢測打印
? 軟件系統(tǒng)：控制系統(tǒng)采用日本三菱公司FX3G系列高速型邏輯控制器，可與現(xiàn)場總線聯(lián)機遠程操控
? SECS / GEM是用于設(shè)備到主機數(shù)據(jù)通信的半導體設(shè)備接口協(xié)議。在自動化工廠中，接口可以啟動和停止設(shè)備處理，收集測量數(shù)據(jù)，更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。 SECS（SEMI設(shè)備通信標準）/ GEM（通用設(shè)備模型）標準以確定的方式完成所有這些工作。
3. 安全保護性能

? 報警功能： 1）三色報警燈  2） 超溫報警    3）熱電偶故障報警   4）低水壓報警
? 安保功能：1）短路保護
2）漏電保護
3）超溫保護，獨立感溫式超溫保護器
4）電機保護，電機過電流、水冷保護
5）電磁門禁保護，當溫度超過100℃，電子鎖自動鎖緊，防止高溫開門
三、無塵無氧烤箱，智能無塵無氧烤箱安裝條件
? 環(huán)境溫、濕度5℃～＋35℃，相對濕度：≤85%；
? 周圍無強烈震動；    
? 無陽光直接照射或其它熱源直接輻射，
? 周圍無強烈電磁場影響；
? 周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質(zhì)；
? 百級潔凈車間；
? 周圍無強烈氣流，當周圍空氣需要強制流動時，氣流不應在直接吹到箱體上；
? 設(shè)備應放在堅固平穩(wěn)的平面上，并使其保持水平狀態(tài)；
? 安裝設(shè)備使用空開電源 ；
四．無塵無氧烤箱，智能無塵無氧烤箱運行監(jiān)控分析技術(shù)
       智能無塵無氧烤箱運行監(jiān)控分析技術(shù)，通過物聯(lián)網(wǎng)向制造企業(yè)提供針對產(chǎn)品的遠程智能服務(wù)，包括遠程監(jiān)控、遠程預警、遠程維護、數(shù)據(jù)分析等。智能服務(wù)拓展到產(chǎn)品的全生命周期管理。產(chǎn)品智能化服務(wù)系統(tǒng)包括產(chǎn)品遠程監(jiān)護與維護平臺、基于大數(shù)據(jù)挖掘的產(chǎn)品使用分析系統(tǒng)、智能手機APP自助服務(wù)系統(tǒng)，實現(xiàn)功能包括以下幾類：
●  對各類產(chǎn)品的多種數(shù)據(jù)進行采集、存儲；
●  及時分析用戶使用典型行為；
● 為客戶提供優(yōu)化解決方案及實時監(jiān)控產(chǎn)品使用情況的綜合服務(wù)；
● 產(chǎn)品智能化服務(wù)的成功應用可以大大提高工作效率，服務(wù)維護成本顯著降低，產(chǎn)品差異化程度提升。