就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環(huán)真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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HMDS烘箱在太陽能電池片生產中的用途
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發(fā)布時間: 2023-12-25
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HMDS烘箱在太陽能電池片生產中的用途
太陽能電池片光刻蝕刻加工的基本原理：
1. 光敏材料涂覆：首先，在待加工的基底表面涂覆一層光敏感材料（例如光刻膠）。該材料對于特定波長的光會發(fā)生化學或物理變化。涂覆的光敏材料形成了一個稱為“光刻膠層”的薄膜。
2. 光罩設計和準備
3. 曝光
4. 圖案形成
5. 刻蝕。
然而在光敏材料涂覆前需要將電池片基底做疏水性處理，該處理工藝需要借助HMDS增粘劑。一般通過氣相沉積的方法將HMDS處理在襯底表面。該設備為上海雋思HMDS烘箱
HMDS烘箱的性能：
溫度范圍：RT+10-200℃
真空度：≤1torr
操作界面：人機界面
工藝編輯：可儲存5個配方
氣體：N2進氣閥，自動控制
容積：定制
產品兼容性：2~12寸晶圓及碎片、方片等
HMDS烘箱適用行業(yè)：MEMS、太陽能、電池片、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導體材料。
